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　　日前，2023“科创华夏”年度聚会上，华夏科协正式颁发了2022年“科创华夏”系列榜单。经初评、终评，抉择公示多个步骤，西方晶源申诉的“

　　“科创华夏”系列榜单由华夏科协推出，是“科创华夏”扶植的一项引颈性、标记性事情，出力制造科技立异启动高原料成长的风向标，环绕办事国度庞大计谋需要，增进立异链和财产链深度融会，为前沿手艺的转移和财产落地起到策动和树模感化。这次荣登“科创华夏”先河手艺榜，再次证实西方晶源在电子束检测范畴具备立异性、计谋性、引颈性、冲破性，手艺到达必定能干度。

　　电子束缺点检测装备（EBI）和关头尺寸量测装备（CD-SEM）是集成电路扶植顶用于良率监控的关头装备，对进步集成电路扶植企业的产物良率具备主要意旨。颠末多年手艺攻关，西方晶源冲破了集成电路扶植检测装备的高速高精度硅片传输定位、高速图象像差抵偿、主动缺点检测和智能分类bob足球、小线宽尺寸量测等多项关头手艺bob足球。停止今朝，旗下EBI、CD-SEM均已经过产线考证并投入Fab量产，同时取得多家客户反复定单。

　　EBI装备利用高扫描速率、高束流的电子束对硅片外表停止成像，随即经过智能算法检测出电性和物理缺点。西方晶源EBI产物（SEpA-i515）可办理在28nm及以上制程的缺点检测题目，量产靠得住性到达90%以上，利用率到达80%以上，合用目标包罗但不限于逻辑芯片、闪存保存芯片扶植等。

　　CD-SEM装备利用高分辩率、高不变性的电子束对硅片外表停止成像，随即经过富厚的量测算法获得关头尺寸新闻。西方晶源新一代CD-SEM产物（SEpA-c410）量测后果和反复性不妨到达国际行业支流装备的容差规模，已办理28nm/40nm制程中线nm的图形量测需要，装备靠得住性达93%。同时更小线宽量测已经过尝试考证，连续助力帮忙客户办理更小、更高尺度的图形量测题目bob足球。

　　西方晶源从创建伊始便聚焦于电子束检测范畴，颠末数年手艺攻关，成功办理多项关头手艺困难，弥补国际相干手艺空缺并领跑国熟行业成长。本次当选“科创华夏”先河手艺榜，是国度科技范畴对西方晶源手艺气力和获得成就的高度承认。将来，西方晶源将不忘初心，充散发挥在电子束检测范畴的手艺堆集和财产化经历，不停深耕，开辟立异，向更多检测范畴踊跃结构，与财产链高低流企业配合联袂，加快推动我国集成电路扶植自立可控。